CVD,MOCVD專用氫氣發(fā)生器主要由電解系統(tǒng)、壓力控制系統(tǒng)、凈化系統(tǒng)和顯示系統(tǒng)組成,它可以連續(xù)可靠的產(chǎn)生純度很高的氫氣,純度>99.9999%,從而使昂貴且危險(xiǎn)的高壓氫氣鋼瓶*告別實(shí)驗(yàn)室,整個(gè)過程只需去離子水和供電,即可產(chǎn)生氫氣,一次加水即可持續(xù)工作15天,成本低。
氫氣發(fā)生器的安全、簡(jiǎn)便性能使其替代了危險(xiǎn)的高壓氫氣鋼瓶。氫氣根據(jù)需要適時(shí)適量產(chǎn)生,保持氫氣儲(chǔ)存體積和安全性。 通過電解水產(chǎn)生氫氣,產(chǎn)生的氧氣則放空進(jìn)入大氣。具有電解面積大、池溫低、性能好、產(chǎn)氣量大、純度高的優(yōu)點(diǎn)。
CVD,MOCVD專用氫氣發(fā)生器的使用方法:
1、開機(jī)時(shí),先用原料氫置換系統(tǒng),從閥3放空,待系統(tǒng)內(nèi)的高純氮置換干凈后,根據(jù)用戶的原料氫內(nèi)的含氫量和所需高純氫量,參照表一數(shù)據(jù),來(lái)選定操作溫度、操作壓力和馳放氣量,然后再通電加熱鈀管,從閥2流出高純氫。
2、調(diào)溫方法,可根據(jù)隨機(jī)所帶的說(shuō)明書進(jìn)行溫度設(shè)定。從鈀擴(kuò)散制得的高純氫到實(shí)際獲得的高純氫,尚需要置換閥2前管線的一段時(shí)間,通常約需2~3小時(shí)。由于本裝置在出廠前,都要經(jīng)過產(chǎn)品質(zhì)量檢驗(yàn),因此閥1和閥3管線內(nèi),充有高純氮,閥2到管線前那段管線充有高純氮。當(dāng)設(shè)備停止使用時(shí),應(yīng)先停電,待裝置冷卻后各閥門都關(guān)閉再停氣,以便在下次使用時(shí)減少置換系統(tǒng)的時(shí)間。
3、一般認(rèn)為在鈀管厚度一定的情況下,進(jìn)出口壓力差越大,溫度越高,則氫的滲透量越大,但平均壓力以8~3公斤/平方厘米,操作溫度為300~400℃為宜。電壓是否在2.3V左右。